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喜報!大族激光顯視與半導體裝備事業部榮獲雙獎
2020.8.7

文章来源:由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://www.eepw.com.cn/article/201910/406326.htm"

2019年10月11日,第十六屆中國先進激光技術峰會暨年度評選頒獎典禮在深圳成功舉辦。本次研討會聚焦激光領域最新技術及應用,共吸引超過300名行業知名專家與企業代表積極參與。作為世界主要的激光加工設備生產廠商,大族激光受邀出席此次盛會。憑借全自動晶圓激光開槽設備與全自動激光解鍵合設備在行業內的突出表現,大族激光一舉拿下“最佳精密激光設備技術創新獎”、“最佳激光行業應用案例獎”兩個獎項。本文引用地址:http:www.eepw.com.cnarticle201910406326.htm隨著智能制造時代的到來,激光行業不斷涌現出新生企業,新技術的研發,新材料的發現,新產品的迭代,為激光行業注入新鮮血液。目前,行業各企業都在積極探索全新技術與應用,新技術和細分應用正在成為激光領域新的增長點。在當前全自動晶圓激光開槽設備無國產替代,進口設備壟斷整個行業的情況下,大族激光通過自主研發,成功于2018年推出的首臺國產自主開發lowk晶圓開槽設備,填補了國內此類設備的空白。這款產品主要應用于半導體晶圓表面切割道lowk層及其他金屬層的去除,擁有自主研發的先進光路整形系統,極大提升整體工藝效果,達到同類設備領先水平。不僅如此,lowk晶圓開槽設備突破性的使用綠光皮秒激光器,成功打破國外品牌的技術壁壘。精確的軟件開關光控制系統,讓lowk晶圓開槽設備可以實現多種芯片晶圓(MPW)的一次性切割。而在本次峰會上獲獎的全自動激光解鍵合設備,則實現了首臺國產自主開發的用于先進封裝的激光解鍵合設備客戶端的量產化。在進口設備市場技術雙壟斷的情況下,大族激光基于完全自主開發,成功突破國外技術壁壘,實現了國內首臺激光解鍵合設備的客戶端量產化,成功應用在FOWLP等先進封裝產品領域,整體水準達到同類進口品牌的水準。目前,大族激光已成功導入設備到國內top3的長電,華天等大型企業量產。本次獎項的獲得,既是認可也是激勵。大族激光將不忘初心,秉承工匠精神,不斷進行技術研發和創新,帶來優質的激光產品和激光應用方案。繼續與行業攜手,共同促進激光產業向前健康發展!

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